摘要
R
"W=V 6wiuNGZb 高數(shù)值
孔徑物鏡廣泛用于
光學(xué)光刻、顯微鏡等。因此,在
聚焦模擬中考慮光的矢量性質(zhì)是非常重要的。
VirtualLab非常容易支持這種
鏡頭的
光線和光場(chǎng)追跡分析。 通過(guò)光場(chǎng)追跡,可以清楚地展示不對(duì)稱焦斑,這源于矢量效應(yīng)。 照相機(jī)探測(cè)器和電磁場(chǎng)探測(cè)器為聚焦區(qū)域的研究提供了充分的靈活性,并且可以深入了解矢量效應(yīng)。
0Q%I[f8 ,vi6<C\ t2ui9:g4j n\JSt}A 建模任務(wù)
Z1H 1%.CtTi #!z'R20PH wj$3L3 入射平面波
K(mzt[n( 波長(zhǎng) 2.08 nm
Ejf>QIB 光斑直徑: 3mm
|b
Z
58{} 沿x方向線偏振
F8m@mh*8> c1%ki%J# 如何進(jìn)行整個(gè)
系統(tǒng)的光線追跡分析?
ue
*mTMN 如何計(jì)算包含矢量效應(yīng)的焦點(diǎn)的強(qiáng)度分布?
#$t93EI TGPdi5Eq 概覽
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