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VirtualLab:二元光柵設(shè)計流程
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VirtualLab:二元光柵設(shè)計流程
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xunjigd
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發(fā)表于: 2019-08-19
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VirtualLab
光柵
具有直壁或傾斜側(cè)壁的二元
光柵
已成為許多
光學(xué)
應(yīng)用中的關(guān)鍵部件。 感謝
納米
壓印技術(shù),使小尺寸的光柵的制造已經(jīng)變得可行。
VirtualLab
Fusion采用內(nèi)置的傅里葉模態(tài)方法(FMM,也稱為RCWA)和不同的
優(yōu)化
算法,為二元光柵提供了完整的用戶友好的設(shè)計工作流程,和隨后的制造誤差分析,如圓邊效應(yīng)。
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