摘要：紫外激光以其波長短、加工精度高、冷加工等特性，在微細(xì)制造中具有獨(dú)特優(yōu)勢，能夠有效提高制造品質(zhì)。近年來，隨著現(xiàn)代電子產(chǎn)業(yè)的快速發(fā)展，其對生產(chǎn)制造的要求不斷提高，紫外激光的應(yīng)用和發(fā)展也受到人們的廣泛關(guān)注。紫外激光在微加工過程中對材料尺寸形狀要求小，加工過程靈活可變，產(chǎn)生的熱影響區(qū)小，能夠?qū)崿F(xiàn)精密復(fù)雜結(jié)構(gòu)的加工。本文介紹了紫外激光器的發(fā)展過程，并對目前主要用于微加工的兩類紫外激光器：準(zhǔn)分子激光器和全固態(tài)激光器的工作原理和技術(shù)特點(diǎn)進(jìn)行了簡要的概述。重點(diǎn)討論紫外激光在半導(dǎo)體、光學(xué)元件和聚合物等領(lǐng)域的技術(shù)發(fā)展和應(yīng)用現(xiàn)狀，并進(jìn)一步對未來研究方向進(jìn)行預(yù)測和展望。 `#gie$B{
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關(guān)鍵詞：紫外激光器；激光微加工；半導(dǎo)體材料；微光學(xué)元件；聚合物
