摘要
*T1_;4i 當用近軸光
照明時,亞
波長光柵僅產(chǎn)生一個
衍射級,因此在這種情況下無法成圖像。為了克服這一問題,可以使用非傍軸照明。如在此示例中,采用高NA聚光
透鏡來為具有不同周期的光柵提供高度聚焦的照明,并且該衍射場將由另一個高NA物鏡采集。VirtualLab可以
模擬這樣的
成像過程,包括使用傅立葉模態(tài)法對亞波長光柵進行嚴格模擬。
er\|i. Y 8@R|Km5h |w=zOC;v Z\sDUJ 1. 建模任務
P+}h$_x XjBD{m( |s_GlJV. 9gIrt 6 2. 結果
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