[分享]VirtualLab：高NA物鏡聚焦的分析 [復(fù)制鏈接]

摘要 5f5ZfK3<i  
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高NA物鏡廣泛用于光學(xué)光刻，顯微鏡等。因此，在聚焦仿真中最基本的就是考慮光的矢量性質(zhì)。 使用VirtualLab對(duì)這種鏡頭進(jìn)行光線追跡和場(chǎng)追跡分析非常方便。通過(guò)場(chǎng)追跡，可以清楚地展示不對(duì)稱焦斑，這源于矢量效應(yīng)。相機(jī)探測(cè)器和電磁場(chǎng)探測(cè)器為聚焦區(qū)域的研究提供了充分的靈活性，可以讓用戶深入了解矢量效應(yīng)。 8`2K=`]ES+  
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建模任務(wù) sn(}5;  
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概觀 wu')Q/v  
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光線追跡仿真 fW _.  
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•首先選擇“光線追跡系統(tǒng)分析器”（Ray Tracing System Analyzer）作為仿真引擎。 H~Cfni;  
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•點(diǎn)擊Go！ GN0'-z6Uy  
•獲得3D光線追跡結(jié)果。 v