[分享]VirtualLab：高NA物鏡聚焦的分析 [復(fù)制鏈接]

摘要 &'V1p4'  
K9HXy*y49  
高NA物鏡廣泛用于光學(xué)光刻，顯微鏡等。因此，在聚焦仿真中最基本的就是考慮光的矢量性質(zhì)。 使用VirtualLab對(duì)這種鏡頭進(jìn)行光線追跡和場(chǎng)追跡分析非常方便。通過場(chǎng)追跡，可以清楚地展示不對(duì)稱焦斑，這源于矢量效應(yīng)。相機(jī)探測(cè)器和電磁場(chǎng)探測(cè)器為聚焦區(qū)域的研究提供了充分的靈活性，可以讓用戶深入了解矢量效應(yīng)。 wHR# -g'  
CE|iu!-4  

圖片:1-1Q210141S0B6.png

M+L8~BD@  
{^T_m)|n  
建模任務(wù) Irc(5rD7  
l%_r