我國新一代超分辨光刻機(jī)通過驗收

隨著微納米技術(shù)向光學(xué)領(lǐng)域的擴(kuò)展，微納光學(xué)結(jié)構(gòu)的制造技術(shù)已成為現(xiàn)代先進(jìn)制造的重要方向，其水平高低也是體現(xiàn)一個國家綜合實力的標(biāo)志之一。如何研制出面向微納光學(xué)結(jié)構(gòu)制造的光刻裝備成為相關(guān)領(lǐng)域科技工作者追求的目標(biāo)。 R:^?6f<Z}  
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