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[分享]離軸非球面反射鏡檢測(cè)方法的研究 [復(fù)制鏈接]

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只看樓主倒序閱讀樓主發(fā)表于: 2018-08-23

關(guān)鍵詞：非球面反射鏡

隨著非球面的廣泛應(yīng)用，非球面的檢測(cè)也顯得尤為重要。本文針對(duì)多種類型的非球面鏡開展其檢測(cè)方法的研究，如離軸凸拋物面，離軸凹拋物面，離軸凸雙曲面，離軸凹雙曲面，離軸凸橢球面，離軸凹橢球面。主要通過無像差點(diǎn)檢驗(yàn)和補(bǔ)償法檢驗(yàn)對(duì)不同的類型的非球面的檢測(cè)方法進(jìn)行研究，并使檢測(cè)方案滿足目前采用的ZYGO干涉檢測(cè)或4D干涉檢測(cè)。


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