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    [分享]絕對平面檢測方法的研究進展 [復(fù)制鏈接]

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    離線200833
     
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    只看樓主 倒序閱讀 樓主  發(fā)表于: 2018-04-16
    關(guān)鍵詞： 干涉光學(xué)平面
    光學(xué)平面的干涉檢測發(fā)展至今，檢測精度已經(jīng)大大提高，而高精度的平面檢測很大程度上受限于參考平面的精度，針對參考平面面形對檢測結(jié)果的影響，利用絕對平面檢測方法，通過多次測量以達到消除參考平面偏差的目的。從測量方式和計算方法兩個方面分析了不同絕對平面檢測方法的原理，介紹了最新發(fā)表的相關(guān)成果以及研究動態(tài)，并對比了檢測結(jié)果。這些檢測方法已經(jīng)精確到像素級，并通過多種計算方法使得峰谷（PV）值的計算精度大部分達到了λ/100。
    附件: 絕對平面檢測方法的研究進展.rar (1111 K) 下載次數(shù):23 ，售價:2光幣[記錄]
    共1條評分 ，光幣+6
    mang2004 光幣 +6 - 2018-04-24
     
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    離線875192871
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    只看該作者 1樓 發(fā)表于: 2018-04-18
    謝謝大佬  
    離線875192871
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    只看該作者 2樓 發(fā)表于: 2018-04-18
    大佬  zygo好像最多只能測試1/20λ的面型吧
    離線微笑向暖
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    只看該作者 3樓 發(fā)表于: 2018-04-24
    我們現(xiàn)在做的平片就是要求面型1/100d的
    離線jyx123456
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    只看該作者 4樓 發(fā)表于: 2018-04-28
    文章很實用
    離線yita_0310
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    只看該作者 5樓 發(fā)表于: 2018-05-12
    學(xué)習(xí)學(xué)習(xí)~~~~~~~~
    離線小志250
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    只看該作者 6樓 發(fā)表于: 2018-05-24
    能做到嗎
    離線l3x13999
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    只看該作者 7樓 發(fā)表于: 2018-05-24
    來看看
    離線l3x13999
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    只看該作者 8樓 發(fā)表于: 2018-05-24
    非球面檢測？
    離線540852739
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    只看該作者 9樓 發(fā)表于: 2018-05-30
    謝謝分享 N%'(8%;