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    [分享]絕對平面檢測方法的研究進(jìn)展 [復(fù)制鏈接]

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    離線200833
     
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    只看樓主 倒序閱讀 樓主  發(fā)表于: 2018-04-16
    關(guān)鍵詞： 干涉光學(xué)平面
    光學(xué)平面的干涉檢測發(fā)展至今，檢測精度已經(jīng)大大提高，而高精度的平面檢測很大程度上受限于參考平面的精度，針對參考平面面形對檢測結(jié)果的影響，利用絕對平面檢測方法，通過多次測量以達(dá)到消除參考平面偏差的目的。從測量方式和計(jì)算方法兩個(gè)方面分析了不同絕對平面檢測方法的原理，介紹了最新發(fā)表的相關(guān)成果以及研究動(dòng)態(tài)，并對比了檢測結(jié)果。這些檢測方法已經(jīng)精確到像素級，并通過多種計(jì)算方法使得峰谷（PV）值的計(jì)算精度大部分達(dá)到了λ/100。
    附件: 絕對平面檢測方法的研究進(jìn)展.rar (1111 K) 下載次數(shù):23 ，售價(jià):2光幣[記錄]
    共1條評分 ，光幣+6
    mang2004 光幣 +6 - 2018-04-24
     
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    離線875192871
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    只看該作者 1樓 發(fā)表于: 2018-04-18
    謝謝大佬  
    離線875192871
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    只看該作者 2樓 發(fā)表于: 2018-04-18
    大佬  zygo好像最多只能測試1/20λ的面型吧
    離線微笑向暖
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    只看該作者 3樓 發(fā)表于: 2018-04-24
    我們現(xiàn)在做的平片就是要求面型1/100d的
    離線jyx123456
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    只看該作者 4樓 發(fā)表于: 2018-04-28
    文章很實(shí)用
    離線yita_0310
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    只看該作者 5樓 發(fā)表于: 2018-05-12
    學(xué)習(xí)學(xué)習(xí)~~~~~~~~
    離線小志250
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    只看該作者 6樓 發(fā)表于: 2018-05-24
    能做到嗎
    離線l3x13999
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    只看該作者 7樓 發(fā)表于: 2018-05-24
    來看看
    離線l3x13999
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    只看該作者 8樓 發(fā)表于: 2018-05-24
    非球面檢測？
    離線540852739
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    只看該作者 9樓 發(fā)表于: 2018-05-30
    謝謝分享 kyy0&L