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  • 什么是飛秒激光?

    作者:佚名 來源:激光行業(yè)觀察 時間:2022-08-18 19:51 閱讀:4565 [投稿]
    飛秒激光脈沖可以從兩種材料之間的界面或任何非中心對稱的材料中產(chǎn)生少量的二次諧波光。產(chǎn)生的二次諧波光信號可以無損檢測和成像半導(dǎo)體晶圓表面上下的特征,例如結(jié)構(gòu)缺陷、薄膜質(zhì)量,甚至微量金屬污染。

    飛秒激光技術(shù)近年來發(fā)生了轉(zhuǎn)變是輕描淡寫的,它不僅最大限度地減少了技術(shù)方面的巨大進(jìn)步,而且尤其是在可訪問性方面的改進(jìn)。復(fù)雜的桌面擠滿了用戶構(gòu)建的組件和無數(shù)需要日常關(guān)注的離散光學(xué)器件,已經(jīng)讓位于為滿足飛秒應(yīng)用領(lǐng)域快速變化的世界而量身定制的單盒系統(tǒng)。這種轉(zhuǎn)變的早期例子是用于多光子顯微鏡的可調(diào)諧激光器,緊隨其后的是強(qiáng)大的工業(yè)一體式激光器,用于支持從支架切割到 OLED 加工的微加工應(yīng)用。


    飛秒激光脈沖可以從兩種材料之間的界面或任何非中心對稱的材料中產(chǎn)生少量的二次諧波光。產(chǎn)生的二次諧波光信號可以無損檢測和成像半導(dǎo)體晶圓表面上下的特征,例如結(jié)構(gòu)缺陷、薄膜質(zhì)量,甚至微量金屬污染。

    如今,這一發(fā)展趨勢的最新示例包括一系列功率范圍小于 5W 的鞋盒尺寸密封激光器,在關(guān)鍵工作點(diǎn)具有固定波長,包括 780、920 和 1064 nm。這些用戶友好型激光器進(jìn)一步提供了與應(yīng)用相關(guān)的參數(shù),例如短脈沖寬度和高光束質(zhì)量、優(yōu)化最終脈沖寬度的預(yù)補(bǔ)償以及輸出功率的快速調(diào)制和控制。

    新一代超快激光器經(jīng)過專門優(yōu)化,可支持終端市場的用戶需求,例如增材制造、醫(yī)學(xué)、半導(dǎo)體計(jì)量和應(yīng)用研究。

    納米制造

    激光可用于許多增材制造 (AM) 工藝,包括金屬的激光燒結(jié)和聚合物的立體光刻。這些過程中的每一個都提供了一種無需掩;蚰>呒纯蓜(chuàng)建復(fù)雜而獨(dú)特的結(jié)構(gòu)的方法。增材制造對于小規(guī)模生產(chǎn)應(yīng)用特別有價值,例如零件的快速原型制作或個性化醫(yī)療植入物。

    一種新興的 AM 方法是一種稱為雙光子聚合的立體光刻技術(shù),由于多種原因,它正在迅速引起人們的興趣。首先,它能夠比任何其他 AM 方法具有更高的空間分辨率。其次,它是一種三維自由成型工藝,因此它不受激光燒結(jié)或單光子立體光刻的加工限制的限制,其中零件必須從下向上或自上而下逐層創(chuàng)建。

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