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案例315（3.1） Q Q3a&
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該應(yīng)用案例說明了兩個不同紫外光譜偏振片的參數(shù)優(yōu)化，紫外偏振片具有亞波長線柵結(jié)構(gòu)。兩個系統(tǒng)具有不同的功能，如193nm工作波長和以及在期望光譜范圍內(nèi)效率的一致性。 ,P&.qg i=(
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1. 線柵偏振片的原理 hmfO\gc}y
[attachment=70652] 帶金屬脊的線柵偏振片（如鋁，鉻等）。 9A@/5Z:v5W
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2. 建模任務(wù) n-/ {H4\
[attachment=70653] +K6j p
n]?KDID;
全部透射光線的嚴格仿真和結(jié)構(gòu)參數(shù)的優(yōu)化。 jea{BhdUr
偏振元件的重要特性： lr> P/W\
偏振對比度 C5q
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透射率 w}wABO
效率一致性 ]kXiT Yg
線格結(jié)構(gòu)的應(yīng)用(金屬) 1{ TmK9U
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