| cyqdesign |
2006-09-29 00:33 |
激光測(cè)量在數(shù)控機(jī)床定位中的應(yīng)用
雙頻激光干涉儀是當(dāng)代國(guó)際機(jī)床標(biāo)準(zhǔn)中規(guī)定使用的數(shù)控機(jī)床精度檢測(cè)驗(yàn)收的測(cè)量設(shè)備，本文就如何應(yīng)用雙頻激光干涉儀檢驗(yàn)數(shù)控也庫的定位精度進(jìn)行了討論。 \f]k CB
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1．測(cè)量隱理 3c#BKHNC
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由激光頭激光諧振腔發(fā)出的He一Ne激光束，經(jīng)激光偏轉(zhuǎn)控制系統(tǒng)分裂為頻率分別為f1和f2的線偏振光束，經(jīng)取樣系統(tǒng)分離出一小部分光束被光電檢測(cè)器接收作為參考訊號(hào)，其余光束經(jīng)回轉(zhuǎn)光學(xué)系統(tǒng)放大和準(zhǔn)直，被干涉鏡接收反射到光電檢測(cè)器上。機(jī)床運(yùn)動(dòng)使干涉鏡和反射鏡之間發(fā)生相對(duì)位移，兩束光發(fā)生多普勒效應(yīng)，產(chǎn)生多普勒頻移±Δf。光電檢測(cè)器接收到的頻率訊號(hào)（f1-f2±Δf）和參考訊號(hào)（f1-f2）被送到測(cè)量顯示器，經(jīng)頻率放大、脈沖計(jì)數(shù)，送人數(shù)字總線，最后經(jīng)數(shù)據(jù)處理系統(tǒng)進(jìn)行處理，得到所測(cè)量的位移量，即可評(píng)定數(shù)控機(jī)床的定位精度。 M>wYD\oeg
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2．測(cè)量方法 $?
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（1）安裝雙頻激光干涉儀測(cè)量系統(tǒng)各組件。 7,U=Qe;
（2）在需測(cè)量的機(jī)床坐標(biāo)軸線方向安裝光學(xué)測(cè)量裝置。 Pu7_
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（3）調(diào)整激光頭，使雙頻激光干涉儀的光軸與機(jī)床移動(dòng)的軸線晝?cè)谝粭l直線上，即將光路調(diào)準(zhǔn)直。 q!{y&.&\
（4）待激光預(yù)熱后輸入測(cè)量參數(shù)。 Eza`Z`
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（5）按規(guī)定的測(cè)量程序運(yùn)動(dòng)機(jī)床進(jìn)行測(cè)量。 WK ts[Z
（6）數(shù)據(jù)處理及結(jié)果輸出。 ?Nup1 !D
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3．測(cè)量誤差分析 S @jQX
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用雙頻激光干涉儀檢驗(yàn)數(shù)控機(jī)床定位精度的測(cè)量誤差主要來源及分析如下： Jv>gwV{
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3.1雙頻激光干涉儀的極限誤差； dT`D:)*:
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3.2安裝誤差：它主要是由測(cè)量軸線與機(jī)床移動(dòng)的軸線不平行而引起的誤差； 8;d:-Cp
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