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200713

2011-05-09 09:18

投影光刻離軸照明用衍射光學(xué)元件設(shè)計.PDF

摘要：離軸照明作為一種重要的分辨率增強(qiáng)技術(shù)被廣泛地應(yīng)用于投影光刻系統(tǒng)。使用衍射光學(xué)元件（ＤＯＥ）作為光刻照明系統(tǒng)的光束整形器件，能夠在保持較高照明效率的基礎(chǔ)上精確控制離軸照明光束的形狀及光強(qiáng)分布。本文利用基于傅里葉變換的分步迭代方法，優(yōu)化設(shè)計了該類衍射光學(xué)元件（ＤＯＥ）。ＤＯＥ采用了多臺階位相結(jié)構(gòu)，設(shè)計所得８臺階ＤＯＥ設(shè)計結(jié)果分別實現(xiàn)了偶極、四極、環(huán)形及Ｂｕｌｌｓ  Ｅｙｅ等照明方式，其照明效率都達(dá)到了８０％以上，與目標(biāo)光強(qiáng)分布的均方根偏差均＜７％。

關(guān)鍵詞：衍射光學(xué)元件；投影光刻；分辨率增強(qiáng)；照明；光束整形

faithfulfans	2011-08-20 02:12
Thanks for sharing.....

mang2004	2011-08-20 19:02
多謝分享。

夜之贊歌	2011-11-07 08:26
感謝分享

lcc1017	2011-11-23 20:40
趕緊下載 xzOa9w/

alvons	2012-03-31 13:42
趕緊下載

bruce45	2013-02-04 12:15
看看，多謝

西河	2013-03-07 09:36
看看，多謝！ Ke\\B o,

chengzheng	2013-08-31 22:59
學(xué)習(xí)下，謝謝

chengzheng	2014-01-07 22:40
謝謝樓主分享

chengzheng	2014-04-30 19:18
感謝樓主

chengzheng	2014-04-30 19:22
感謝樓主

wlzmayers	2015-04-13 09:13
Thank you

yi臣	2015-10-11 11:20
投影光刻離軸照明用衍射光學(xué)元件設(shè)計

ecnadwodahs	2015-12-24 09:18
多謝分享

小橋流水9527	2020-07-29 21:11
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小橋流水9527	2020-07-29 21:11
非常感謝 +a,SP ！

小橋流水9527	2020-07-29 22:17
感謝感謝！ 2&6D`{"P

1039390270	2023-02-25 14:16
趕緊下載，謝謝 V@'Xj .ze

chengzheng	2023-04-28 11:13
多謝分享。

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