1014597 |
2011-02-14 22:14 |
顯微物鏡星點(diǎn)檢驗(yàn)圖像采集 CCD攝像顯示技術(shù)
1.球差 Vs)%*1>< ;T|y^D 光學(xué)系統(tǒng)僅有球差時(shí),根據(jù)球差的性質(zhì)可知,出射波面是一個(gè)非球面的旋轉(zhuǎn)對(duì)稱面,因此星點(diǎn)像的衍射環(huán)還是圓的,但光強(qiáng)分布規(guī)律與理想情況不同,表現(xiàn)為光能由中央亮斑向各衍射環(huán)分散,結(jié)果中央亮斑變暗,各亮環(huán)變亮,且暗環(huán)的光強(qiáng)也不再為零。但最明顯的特征是焦前焦后對(duì)稱面上的衍射圖樣不再相同。 )BuS'oB 3,snx4q
( 2.慧差 %PsDS 0P5!fXs* 僅有慧差時(shí),慧差較小時(shí),中央亮斑稍稍偏離第一衍射亮環(huán)的中心,同時(shí)該亮環(huán)的粗細(xì)和亮暗都不再一致,中央亮斑靠近的一側(cè),環(huán)變細(xì)變暗,遠(yuǎn)離的一側(cè)則變粗變亮;鄄钤黾樱醒肓涟咂募哟,第一亮環(huán)的亮暗差也加大以至斷開。波像差大于0.5λ后,星點(diǎn)像開始呈現(xiàn)出彗星狀,即有一個(gè)明亮的頭部和一條漸漸擴(kuò)展、變暗的尾巴。 yxECK&&P0# i>Cxi ZT 如果被檢系統(tǒng)的軸上點(diǎn)也出現(xiàn)慧差,說明系統(tǒng)存在工藝疵病,主要是單片透鏡中心偏差、膠合透鏡偏心差和裝配時(shí)某些鏡片的偏心等疵病。但是偏心量都比較小,否則不僅出現(xiàn)慧差,還會(huì)出現(xiàn)像散。 S+i .@N.^ )P{I<TBI; 用檢查軸上點(diǎn)星點(diǎn)像有無慧差來判斷光學(xué)系統(tǒng)在裝配和其他工藝過程中是否引進(jìn)了偏心差,是一個(gè)很好的辦法。它有很高的靈敏度,當(dāng)偏心差產(chǎn)生的波像差為λ/20或更小時(shí),人們就能檢測(cè)出來。但星點(diǎn)檢驗(yàn)用于測(cè)定像差大小時(shí)就十分不利。 9"@P.8_ yqg&dq 3.像散 C~2/ 5 =,aWO7Pz 僅有像散的星點(diǎn)圖的特征是:焦前、焦后都呈現(xiàn)橢圓形星點(diǎn)圖,但其長(zhǎng)軸互相垂直。像散很小時(shí),中央亮斑還是圓形的,在子午和弧失焦線處,第一暗環(huán)皆成長(zhǎng)方形,但彼此垂直;在兩焦線間總能找到第一暗環(huán)成正方形的像面位置;這是有像散時(shí)的焦面位置。 [n`SXBi+n 5 i1T? 造成光學(xué)系統(tǒng)出現(xiàn)軸上像散的主要原因有兩個(gè),一是光學(xué)面有較大的偏心,二是光學(xué)面變形。如果星點(diǎn)像的主要特征表現(xiàn)為像散,慧差并不明顯,這時(shí)的像散往往主要由光學(xué)面變形產(chǎn)生。如果像散和慧差都明顯,則主要是光學(xué)面有較大偏心造成。因?yàn)樾×科臅r(shí)首先在星點(diǎn)圖中出現(xiàn)慧差,偏心加大,慧差增加,像散更快地增加,致使兩種像差在星點(diǎn)像中都明顯呈現(xiàn)。 h=q%h8 4x物鏡到100X物鏡都可以清晰分析 成像! !n=@(bT*wT 4{'0-7} 對(duì)成像采集要求抗逆光,感光有一定動(dòng)態(tài)。
|
|