首頁 -> 登錄 -> 注冊 -> 回復(fù)主題 -> 發(fā)表主題

光行天下 -> SYNOPSYS -> SYNOPSYS 光學(xué)設(shè)計(jì)軟件課程七十九：反射式光刻物鏡設(shè)計(jì) [點(diǎn)此返回論壇查看本帖完整版本]

[打印本頁]

小火龍果

2024-07-19 16:58

SYNOPSYS 光學(xué)設(shè)計(jì)軟件課程七十九：反射式光刻物鏡設(shè)計(jì)

一．概述

隨著光刻分辨率的不斷提高，光學(xué)光刻機(jī)中采用的投影物鏡結(jié)構(gòu)型式經(jīng)歷了演變和篩選過程。在早期的低分辨率光刻機(jī)中，全反射型、全折射型、折反射型多種結(jié)構(gòu)型式并存：在目前的高分辨率光刻機(jī)中，全折射式結(jié)構(gòu)型式是主流。

與全折射式結(jié)構(gòu)型式相比，折反射式結(jié)構(gòu)的投影物鏡具有許多優(yōu)越的光學(xué)性能，但其在光刻機(jī)中的真正使用尚需克服許多技術(shù)問題。在現(xiàn)代高分辨率光學(xué)光刻機(jī)中，投影物鏡的結(jié)構(gòu)型式大致分為兩類：全折射型和折反射型。