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光行天下 -> 光學(xué)設(shè)計(jì)及經(jīng)驗(yàn) -> 光刻照明系統(tǒng)中復(fù)眼透鏡的設(shè)計(jì)及公差分析 [點(diǎn)此返回論壇查看本帖完整版本] [打印本頁(yè)]

gangzi0801 2023-11-24 12:23

光刻照明系統(tǒng)中復(fù)眼透鏡的設(shè)計(jì)及公差分析

在超大規(guī)模集成電路中，為了實(shí)現(xiàn)NA=135，波長(zhǎng)193nm處分辨率達(dá)到 45nm的目標(biāo)，需要對(duì)影響光刻照明均勻性的誤差源進(jìn)行詳細(xì)分析最終確定公差范圍。復(fù)眼透鏡是使光束在系統(tǒng)掩膜面上形成矩形均勻照明區(qū)域的關(guān)鍵元件。采用CODEV軟件設(shè)計(jì)了復(fù)眼透鏡對(duì)引起照明不均勻性的因素進(jìn)行分析，結(jié)合復(fù)眼透鏡組的設(shè)計(jì)方案和實(shí)際加工能力，給出X和Y向復(fù)眼曲率公差為±10%，后組曲率公差為±5%，前后組間隔公差為±50μｍ，位置精度偏心公差為±1μｍ，裝配精度公差為±3μｍ。制定公差合理、可行，滿足了浸沒式光刻照明系統(tǒng)高均勻性、高能量利用率的要求。 mgVYKZWL-i  
xpwj 2023-11-24 22:52
這個(gè)沒接觸過，下來看看
譚健 2023-11-25 13:08
下來看看
dxawlll 2023-11-25 14:38
學(xué)習(xí)一下
albert.qian 2023-11-26 15:55
學(xué)習(xí)，感謝分享。
songshaoman 2023-11-27 08:32
能用zemax分析么？
mang2004 2023-11-27 09:08
學(xué)習(xí)，謝謝分享
krafe 2023-11-27 12:28
感謝分享
444198029 2023-11-28 11:57
謝謝分享，學(xué)習(xí)一下
譚健 2023-11-28 13:23
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daoyeer 2023-11-29 10:49
學(xué)習(xí)一下 $+7uB-KsU  
caiganyuhhh 2023-11-29 14:08
學(xué)習(xí)一下
莫名其妙331 2023-11-29 17:22
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sincerels 2023-11-30 12:43
學(xué)習(xí)學(xué)習(xí) )'U0n`=  
何曉龍 2023-11-30 14:10
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niusir 2023-12-01 09:27
學(xué)習(xí)，感謝分享
泡泡王 2023-12-07 13:51
謝謝分享
lucky_yu 2023-12-07 15:28
學(xué)習(xí)一下，
哈哈季 2023-12-08 13:15
感謝分享 ,.W7Z~z  
hale1987 2023-12-09 09:42
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yuxiaohu 2023-12-13 08:38
參考一下
譚健 2023-12-17 19:21
這些主要針對(duì)非成像光學(xué)系統(tǒng)的設(shè)計(jì)及應(yīng)用吧？ ~.%HZzR6&  
qinzyong 2023-12-18 07:29
仔細(xì)學(xué)習(xí)學(xué)習(xí)，謝謝樓主分享！
yangpeipei 2023-12-18 14:07
看看，沒設(shè)計(jì)過
ninesunzq 2023-12-28 11:20
感謝分享
涼開水 2024-01-03 11:15
學(xué)習(xí)，感謝分享。
opmeman 2024-01-05 10:23
下載下來看看
努力學(xué)習(xí)光學(xué) 2024-01-10 13:45
學(xué)習(xí)一下
peanut 2024-01-15 13:06
學(xué)習(xí)一下 9aJIq{