SYNOPSYS 光學(xué)設(shè)計(jì)軟件課程四十八：從初始結(jié)構(gòu)開始設(shè)計(jì)的微光刻透鏡
課程四十八：從初始結(jié)構(gòu)開始設(shè)計(jì)的微光刻透鏡 iY_E"$}P
你現(xiàn)在使用的電腦有一個(gè)中央處理器，它的晶圓片是用一個(gè)非常復(fù)雜的鏡頭曝光加工而來的。這類鏡頭可能含有20或30個(gè)以上的鏡片組成，是世界上最精細(xì)的鏡頭。如果你想更好的學(xué)習(xí)光學(xué)設(shè)計(jì)，這將是一個(gè)好的學(xué)習(xí)例子。 A 9\]y%!
本課將給出一個(gè)學(xué)習(xí)例子: 1T96W :
1. 鏡片數(shù)22片 vQK*:IRKK
2. 物高31mm ii,/omn:
3. 物方數(shù)值孔徑NA 0.2 &\[3m^ L
4. 波長(zhǎng)為UV {6E&\
5. 像方晶圓尺寸是12.66mm hqr V {c
6. 總長(zhǎng)小于1200mm "lU%Pm]>
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這種透鏡在物方和像方上都是有限共軛的，最好分兩步設(shè)計(jì)。首先，我們將為左半部分設(shè)計(jì)一個(gè)鏡片組，可以讓光束經(jīng)過遮光罩，光束到中心后被準(zhǔn)直。然后我們將為右半部分設(shè)計(jì)第二個(gè)鏡片組，將準(zhǔn)直光束成像到晶圓片上。 6< E4?<O%
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首先，我們將使用 DSEARCH 為左半部分設(shè)計(jì)出11個(gè)鏡片的鏡頭，輸入的命令如下： BM6 J
下面是對(duì) DSEARCH 的輸入： BC}+yS
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返回一個(gè)非常好的初始結(jié)構(gòu)，我們將它保存。使用命令為：SAVE LEFT11.
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