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光行天下 -> 顯微鏡,望遠(yuǎn)鏡光學(xué)設(shè)計 -> 有沒有了解或者知道積分散射顯微鏡的？ [點此返回論壇查看本帖完整版本]

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datou	2005-11-12 00:06
有沒有了解或者知道積分散射顯微鏡的？這種低成本的非接觸顯微鏡，不知道前景如何？

liujj	2005-11-14 12:27
不知道樓主指的是什么？顯微鏡基本上都是非接觸式的

moonljy	2005-11-15 13:09
恩，沒聽說過。樓主簡單介紹下吧

網(wǎng)絡(luò)飛蟲	2005-11-15 17:10
介紹一下,大家討論討論,希望這個特色版塊打出名氣.

datou

2005-11-15 18:19

哈哈，有人關(guān)注，真好！

我還不太了解顯微鏡，上面的表述可能有常識性錯誤，海涵海涵！

所謂積分散射顯微鏡呢，主要是針對超光滑表面的，表面粗糙度1A量級，比如微電子中的硅片，以及激光腔的反射片透射片等。

原理很簡單，入射光打到樣品表面，除了鏡面反射之外，在各個方向（樣品一側(cè)的2派弧度內(nèi)）都有微弱的散射光（Scattering），其強(qiáng)度分布可以從衍射理論推出，稱為ARS分布；而把ARS在半球空間內(nèi)積分，稱為總積分散射（TIS），理論表明，TIS與樣品表面粗糙度之間有個簡單的關(guān)系，故可以通過測量TIS來得到樣品的表面形貌。

所謂非接觸主要是針對原子力顯微鏡（AFM）來講的，因為AFM是可以測量到1A量級的，但是會損傷表面。

注：A為10的-10次方米。

不知我講清楚沒有，歡迎大家繼續(xù)討論。

liujj	2005-11-18 10:22
是不是可以這樣理解：由于所看樣品表面非常光滑，其散射光很少，所以必須用積分的方法來觀察？

liujj	2005-11-18 10:23
再問問主要要看樣品的什么指標(biāo)呀

datou	2005-11-21 17:59
不是散射光少，而是微弱；雖然微弱，但還是能測的，單獨測散射光（角分布）的叫微分散射儀。 38mC+%iC nEt{ltsS0 積分的原因是TIS（總散射積分）可以反映表面粗糙度。 $c{fPFe- :X}n[K 主要看樣品的表面粗糙度，要達(dá)到1A量級，就是能分辨這樣的超光滑表面，找出好的片子和差的片子

liujj	2005-11-21 22:04
那用途很窄呀,表面光潔度可以用金相顯微鏡來觀察

datou	2005-11-23 11:35
呵呵，是有點窄，專門為我們的某個項目服務(wù)的。 xx@[ecW 不過應(yīng)用領(lǐng)域還算可以的，微電子領(lǐng)域等都有應(yīng)用，外國有很多人在搞 lqTc6@:D 呵呵，我們是做研究的，可能不那么重視市場

liujj	2005-11-24 21:42
關(guān)注中,有機(jī)會多聊聊,市場化呀

datou	2005-12-02 16:28
可是，俺是學(xué)院里的，首先考慮的是效果，呵呵

northwolf

2005-12-26 17:27

我覺得這個項目有一定的應(yīng)用前景。目前用光學(xué)顯微鏡法測量表面粗糙度的一般都用光切顯微鏡，但是很難達(dá)到高分辨率，能夠測量的粗糙度也比較大。1A級的如果用原子力顯微鏡測成本太高。如果真的能有這種積分散射顯微鏡的話應(yīng)該對超精密加工的粗糙度檢測有所幫助。但我有很多地方不懂，就是如何能夠把微弱的散射光收集起來，用什么樣的成像光路，還有正面反射的光是怎么處理的。希望大家能多討論。

zhaoq313	2012-05-27 13:27
我是新手

wutongyu100	2012-07-25 17:29
我是來學(xué)習(xí)的

沐浴波光	2012-12-26 10:33
學(xué)習(xí)了。。。。。

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有沒有了解或者知道積分散射顯微鏡的？

有沒有了解或者知道積分散射顯微鏡的？