| gangzi0801 |
2022-03-31 12:16 |
非球面光學(xué)元件面型檢測技術(shù)研究進展與最新應(yīng)用
非球面光學(xué)元件，特別是其中的自由曲面元件，在設(shè)計自由度上相比于球面具有很大的優(yōu)勢，基于非球面構(gòu)建的光學(xué)系統(tǒng)能夠以簡單的光機結(jié)構(gòu)實現(xiàn)復(fù)雜的設(shè)計目的。面型檢測技術(shù)是保障光學(xué)非球面加工精度的關(guān)鍵，針對不同種類的非球面以及非球面加工的不同階段對檢測指標要求的多樣性，現(xiàn)已發(fā)展出了種類繁多的檢測方法。本文回顧了非球面光學(xué)元件面型檢測技術(shù)的發(fā)展歷程，分非干涉法與干涉法兩大類整理了常用的檢測技術(shù)，介紹了各自的技術(shù)指標與適用條件、研究進展與應(yīng)用情況。本文重點討論了基于干涉方法的非球面精密檢測技術(shù)，舉例說明了非零位與零位兩條技術(shù)路線下各檢測方法的基本原理、光路結(jié)構(gòu)與檢測能力，對比分析了各方法的優(yōu)缺點與適用范圍，介紹了一些配套算法以及檢測光路的精密調(diào)節(jié)方法。
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