| ka2012 |
2021-06-22 11:41 |
離軸非球面的條紋反射檢測技術(shù)
條紋反射測量技術(shù)具有動態(tài)范圍大、靈敏度高的特點，通過高精度的系統(tǒng)標定可以獲得很高的測量精度。本文研究將條紋反射測量技術(shù)應用于離軸非球面反射鏡粗拋光階段的面形檢測，使用激光跟蹤儀建立檢測系統(tǒng)坐標系，然后將相機和顯示屏的實測標定數(shù)據(jù)代入坐標系并在Zemax軟件中建立測量裝置的理想模型，通過光線追跡得到理想的屏幕像素點位置，采用相移技術(shù)可以得到實測時屏幕像素點位置，從而計算得到被測鏡面形的斜率誤差，最后積分得到檢測結(jié)果。文中采用該方法對一塊SiC離軸非球面鏡進行了實測，并與三坐標測量機的結(jié)果進行對比，驗證了方法的可行性，可用于指導離軸非球面鏡粗拋光階段的加工。
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