極紫外投影光刻光學系統(tǒng)

摘要：極紫外光刻(EUVL)是半導體工業(yè)實現(xiàn)32～16nm技術節(jié)點的候選技術，而極紫外曝光光學系統(tǒng)是EUVL的核心部件，它主要由照明系統(tǒng)和微縮投影物鏡組成。本文介紹了國內外現(xiàn)有的EUVL實驗樣機及其系統(tǒng)參數(shù)特性；總結了EUVL光學系統(tǒng)設計原則，分別綜述了EUVL投影光學系統(tǒng)和照明光學系統(tǒng)的設計要求；描述了EUVL投影曝光系統(tǒng)及照明系統(tǒng)的設計方法；重點討論了適用于22nm節(jié)點的EUVL非球面六鏡投影光學系統(tǒng)，指出了改善EUVL照明均勻性的方法。

關鍵詞：極紫外光刻；投影光學系統(tǒng)；照明光學系統(tǒng)；光學設計

zszp	2020-12-06 14:57
感興趣頂頂頂

zszp	2020-12-06 14:59
zszp:感興趣頂頂頂 (2020-12-06 14:57) 0>BxS9?w hi!A9T3%}M 樓主 RAR 文件下載下來無法打開

天藍色3230	2020-12-06 20:01
謝謝分享。

天藍色3230	2020-12-06 20:02
zszp:樓主 RAR 文件下載下來無法打開 (2020-12-06 14:59) uM`i!7} 66pjWS {X 我下載了，壓縮文件能正常解壓呀，是不是你的網(wǎng)絡有問題，傳輸錯誤了。

mang2004	2020-12-07 06:34
謝謝分享

optifdtd	2020-12-07 06:55
學習一下。。。。。。

optifdtd	2020-12-07 06:58
不錯的論文。。。。。。

opmeman	2020-12-07 08:38
學習下光科技術哈

legendlyy	2020-12-07 09:25
謝謝分享

looksea2015	2020-12-08 15:02
好好學習一下！

道到	2020-12-08 16:25
學習一下

zebra	2020-12-08 17:58
謝謝分享。

小惡魔約納斯	2020-12-08 22:49
感謝分享

mirro.l	2020-12-09 10:12
謝謝分享，學習中

xia0ya0	2020-12-09 22:12
看一看跟ASML比一比

zoubois	2020-12-11 17:19
可以看一下，極紫外光刻系統(tǒng)

bairuizheng	2020-12-11 18:42
學習一下。。。。。。

light0425	2020-12-13 22:44
感謝分享來看一下

anansiyu	2020-12-27 11:18
學習一下

desmond986	2020-12-29 12:47
謝謝分享

wenhong.gaw	2020-12-29 20:40
好東西

visuangle	2020-12-31 16:19
謝謝分享

chenfeng1205	2021-01-07 09:45
正好了解一下

churuiwei	2021-01-07 17:42
學習一下 1SjVj9{:

songshaoman	2021-01-08 09:00
好厲害

bolituliyan	2021-01-08 10:42
非常好，頂頂

zhangyuqian1	2021-01-08 14:47
感謝分享 K{_~W yRF

optica	2021-01-13 11:08
111111111111

雇人思鄉(xiāng)	2021-02-05 15:56
學習一下

yzhengpeng	2021-02-19 00:24
謝謝分享，看看

wqb612	2021-02-20 14:50
謝謝分享，好東東

白云千載空悠悠	2021-04-13 15:54
學習一下

mmgg998	2021-06-06 16:29
學習下光科技術哈

snowrun	2021-07-07 09:47
謝謝分享

hychyc	2021-07-07 10:18
感謝樓主分享 BywEoS

rags_to_rings	2021-08-03 11:22
多看看 sRT5i9TQ

kimclps	2021-08-04 18:14
EUVL光學系統(tǒng)

jade_care	2021-08-04 18:36
LED 準直怎么解決？

lvxiansheng	2021-08-11 10:59
學習了解一下 4wKCzPy

wwwtt02	2021-08-11 11:16
下載看看。。。

wwwtt02	2021-08-11 11:20
下載看看是什么

seedvsgod2	2021-09-04 09:42
光科加油

涼開水	2021-09-04 09:50
謝謝分享

palm_1	2021-09-06 21:19
感謝分享

raja	2021-09-08 17:02
學習了解下光刻

tf2021	2021-09-08 20:53
感謝分享好東西

daoyeer	2021-10-21 16:13
學習一下

tianchao1	2021-12-01 16:00
謝謝分享，正好需要學習

櫻木o花道	2021-12-13 07:15
謝謝分享 c)Q-yPMl)

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