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gangzi0801

2020-08-05 16:28

應(yīng)用于投影光刻離軸照明的自由曲面設(shè)計(jì)

摘要：離軸照明是現(xiàn)代投影光刻中的一種重要的分辨率增強(qiáng)技術(shù)。針對不同的照明模式要求，提出了一種利用自由曲面來實(shí)現(xiàn)離軸照明的方法。根據(jù)入射面和目標(biāo)面之間的坐標(biāo)拓?fù)浜湍芰渴睾汴P(guān)系，利用數(shù)值求解法得出自相應(yīng)的折射式自由曲面并對結(jié)果進(jìn)行模擬，分別設(shè)計(jì)了環(huán)形、二極和四極照明，照明效率均達(dá)到90%以上，照明均勻性均優(yōu)于93%。結(jié)果表明，可以滿足193nm投影光刻照明系統(tǒng)的設(shè)計(jì)要求。

關(guān)鍵詞：光學(xué)設(shè)計(jì)；自由曲面；投影光刻；分辨率增強(qiáng)；照明；光束整形

ttb2016	2020-08-05 23:08
感謝分享！

anti	2020-08-09 09:26
謝謝樓主分享，最近在設(shè)計(jì)光固化光路，很值得學(xué)習(xí)

sgq123	2020-09-22 10:13
謝謝樓主分享，，很值得學(xué)習(xí)

chenfeng1205	2020-11-09 11:46
學(xué)習(xí)學(xué)習(xí)

果凍ssr	2020-11-10 11:11
自由曲面資料太少了 NBX/V^

火車污污	2020-12-28 13:20
謝謝分享

daxingyang	2021-01-26 10:40
光行天下的干貨是越來越多了

阿偉不熬夜	2021-10-21 16:06
數(shù)值求解方法和種子曲線擴(kuò)展方法，兩者有什么區(qū)別呢

煮酒品春秋	2023-01-13 09:39
謝謝樓主分享

1039390270	2023-02-25 14:15
謝謝樓主分享

chengzheng	2023-04-20 16:42
感謝分享！

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