天藍色3230 |
2019-10-26 22:40 |
大口徑大曲率半徑光學(xué)元件的高精度檢測
摘要:針對目前已有的光學(xué)檢測設(shè)備無法實現(xiàn)大口徑大曲率半徑光學(xué)元件高精度檢測的問題,提出利用長程輪廓儀( LTP)來進行大口徑大曲率半徑(正、負)光學(xué)元件的精確測量,并通過實驗證明了LTP檢測大曲率半徑光學(xué)元件的優(yōu) 勢。分析計算LTP測量曲率半徑的算法精度,設(shè)計了合理的機械結(jié)構(gòu)進行旋轉(zhuǎn)測量,得到了全口徑的曲率半徑分布。 最后與球徑儀、刀口儀的測量結(jié)果進行了對比。對R=37.108m和R=41.065m的球面鏡測量結(jié)果顯示, LTP的測量 重復(fù)性在0.05%以內(nèi),與球徑儀、刀口儀的測量值相差均在0.05%以內(nèi)。研究結(jié)果表明,LTP可以用來解決目前幾十米 的大R曲率半徑光學(xué)元件難以高精度測量的難題。 L!c.1Rf_ l:.q1UV 關(guān)鍵詞:長程輪廓儀;曲率半徑測量;算法精度;旋轉(zhuǎn)測量
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