xunjigd |
2019-04-12 15:17 |
具有變化周期的亞波長光柵成像
摘要 6Q6l?!|W4 當(dāng)用近軸光照明時(shí),亞波長光柵僅產(chǎn)生一個(gè)衍射級,因此在這種情況下無法成圖像。為了克服這一問題,可以使用非傍軸照明。如在此示例中,采用高NA聚光透鏡來為具有不同周期的光柵提供高度聚焦的照明,并且該衍射場將由另一個(gè)高NA物鏡采集。VirtualLab可以模擬這樣的成像過程,包括使用傅立葉模態(tài)法對亞波長光柵進(jìn)行嚴(yán)格模擬。 AIXvS*Y, _2,eS[wP [attachment=92556] U8b1
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