從零開始設計的微光刻透鏡：SYNOPSYS 光學設計軟件

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你現在使用的電腦有一個中央處理器，它的晶圓片是用一個非常復雜的鏡頭曝光加工而來的。這類鏡頭可能含有20或30個以上的鏡片組成，是世界上最精細的鏡頭。如果你想更好的學習光學設計，這將是一個好的學習例子。本課將給出一個學習例子。 et+0FF ,  
鏡片數22片 FPTK`Gd0  
物高31mm PaN"sf  
物方數值孔徑NA 0.2 S[QrS7  
波長為UV "w_aM7x_  
像方晶圓尺寸是12.66mm H[|~/0?K  
總長小于1200mm $ulOp;~A%  
這種透鏡在物體和圖像上都是有限共軛的，最好分兩步設計。首先，我們將為左半部分設計一個鏡片組，可以讓光束經過遮光罩，光束到中心后被準直。然后我們將為右半部分設計第二個鏡片組，將準直光束成像到晶圓片上。 /7LR;>B