光學(xué)斷層掃描干涉法

摘要

掃描干涉法是實(shí)現(xiàn)表面高度測(cè)量的技術(shù)。通過(guò)利用白色光源的低相干性，只有當(dāng)光程差在相干長(zhǎng)度內(nèi)，干涉圖案才會(huì)出現(xiàn)。因此，它使精確微觀測(cè)量成為可能。使用一個(gè)氙燈搭建了一個(gè)邁克耳孫干涉儀，用于測(cè)量具有平滑變化前表面的樣品。

[attachment=84368]

建模任務(wù)

[attachment=84369]

結(jié)果

[attachment=84370]

文件信息

[attachment=84389]