本文介紹了點衍射干涉儀不同發(fā)展階段的特點和應(yīng)用。點衍射干涉儀由波長量級的針孔產(chǎn)生高質(zhì)量的球面波作為參考波前，能夠得到衍射極限性能的分辨率。按照不同的光路特點，點衍射干涉儀可分為點衍射共路干涉和點衍射非共路干涉兩種結(jié)構(gòu)，主要應(yīng)用于高精度波前檢測和面形檢測。共路干涉結(jié)構(gòu)簡單緊湊，對環(huán)境振動不敏感，對光源相干度要求不高，可利用光束偏振態(tài)及光柵衍射分束的特性對傳統(tǒng)點衍射板進行改造，在全共路點衍射干涉儀中引入時間相位調(diào)制技術(shù)和干涉對比度可調(diào)技術(shù)，可進一步提高波前檢測精度。采用反射式針孔和各種光纖結(jié)構(gòu)發(fā)展了非共路點衍射干涉儀，實現(xiàn)了大口徑、高精度球面反射鏡面形的測量。本文重點闡述了用于極紫外光刻投影物鏡中高精度球面反射鏡面形檢測的反射式針孔點衍射干涉儀，并展望了點衍射檢測技術(shù)在生物檢測等領(lǐng)域的應(yīng)用前景和發(fā)展趨勢。
