本文介紹了點(diǎn)衍射干涉儀不同發(fā)展階段的特點(diǎn)和應(yīng)用。點(diǎn)衍射干涉儀由波長量級(jí)的針孔產(chǎn)生高質(zhì)量的球面波作為參考波前，能夠得到衍射極限性能的分辨率。按照不同的光路特點(diǎn)，點(diǎn)衍射干涉儀可分為點(diǎn)衍射共路干涉和點(diǎn)衍射非共路干涉兩種結(jié)構(gòu)，主要應(yīng)用于高精度波前檢測(cè)和面形檢測(cè)。共路干涉結(jié)構(gòu)簡單緊湊，對(duì)環(huán)境振動(dòng)不敏感，對(duì)光源相干度要求不高，可利用光束偏振態(tài)及光柵衍射分束的特性對(duì)傳統(tǒng)點(diǎn)衍射板進(jìn)行改造，在全共路點(diǎn)衍射干涉儀中引入時(shí)間相位調(diào)制技術(shù)和干涉對(duì)比度可調(diào)技術(shù)，可進(jìn)一步提高波前檢測(cè)精度。采用反射式針孔和各種光纖結(jié)構(gòu)發(fā)展了非共路點(diǎn)衍射干涉儀，實(shí)現(xiàn)了大口徑、高精度球面反射鏡面形的測(cè)量。本文重點(diǎn)闡述了用于極紫外光刻投影物鏡中高精度球面反射鏡面形檢測(cè)的反射式針孔點(diǎn)衍射干涉儀，并展望了點(diǎn)衍射檢測(cè)技術(shù)在生物檢測(cè)等領(lǐng)域的應(yīng)用前景和發(fā)展趨勢(shì)。
