光柵式
傳感器指采用光柵疊柵條紋
原理測(cè)量位移的傳感器。光柵是由大量等寬等間距的平行狹縫構(gòu)成的
光學(xué)器件。
pUCEYR IxK 3,@ d 一般常用的光柵是在
玻璃片上刻出大量平行刻痕制成，刻痕為不透光部分，兩刻痕之間的光滑部分可以透光，相當(dāng)于一狹縫。精制的光柵，在1cm寬度內(nèi)刻有幾千條乃至上萬條刻痕。
".*a) EDP I*@> ?vL^:f[" 這種利用透射光
衍射的光柵稱為透射光柵，還有利用兩刻痕間的反射光衍射的光柵，如在鍍有金屬層的表面上刻出許多平行刻痕，兩刻痕間的光滑金屬面可以反射光，這種光柵成為反射光柵。由光柵形成的疊柵條紋具有光學(xué)放大作用和誤差平均效應(yīng)，因而能提高測(cè)量
精度。
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