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    [推薦]VirtualLab實例_紫外光柵偏振片的參數(shù)優(yōu)化 [復(fù)制鏈接]

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    只看樓主 倒序閱讀 樓主  發(fā)表于: 2016-06-01
    Q=[A P+  
    案例315（3.1） ;H5PiSq;z  
    GtRc7,  
    該應(yīng)用案例說明了兩個不同紫外光譜偏振片的參數(shù)優(yōu)化，紫外偏振片具有亞波長線柵結(jié)構(gòu)。兩個系統(tǒng)具有不同的功能，如193nm工作波長和以及在期望光譜范圍內(nèi)效率的一致性。 lV/-jkR  
    K'EGm #I  
    1. 線柵偏振片的原理 A\9Q gM  
    帶金屬脊的線柵偏振片（如鋁，鉻等）。 wiXdb[[#  
    vkWh2z  
    2. 建模任務(wù) ?'_E$  
    {k=H5<FV  
    AOhfQ:E 4  
     全部透射光線的嚴格仿真和結(jié)構(gòu)參數(shù)的優(yōu)化。 8jW"8~Y#0  
     偏振元件的重要特性： y<bA Y_-[  
     偏振對比度 y#Je%tAe 2  
     透射率 %y{#fZHc  
     效率一致性 8{ aS$V"  
     線格結(jié)構(gòu)的應(yīng)用(金屬)  -z9-f\  
    XS5*=hv:  
    3. 建模任務(wù)：
          x-z方向(截面)            x-y方向(俯視圖)
    kGsd3t!'  
    F3$@6J8<[z  
    4. 建模任務(wù)：仿真參數(shù) ]5X=u(}  
    OTs vox|(  
    偏振片#1: #%t&f"j2  
     偏振對比度不小于50@193nm波長 dGU io?  
     高透過率(最大化) aV?dy4o$  
     光柵周期：100nm(根據(jù)加工工藝) <<}t&qE%2%  
     光柵材料：鎢(適用于紫外波段) QZ!;` ?(  
    偏振片#2: zi7,?bD  
     偏振對比度不小于50@300—400nm波段范圍內(nèi) n4Od4&r  
     在波長范圍內(nèi)具有5%一致性的高透過率 Fdsaf[3[v  
     光柵周期：100nm BFP