本例以正弦光柵為例介紹光柵面并非理想情況時的模擬。因?yàn)閷?shí)際加工原因,光柵面并不一定是我們期望的理想光柵面。對于正弦光柵,變很可能不是理想正弦型,而是在正弦基礎(chǔ)上出現(xiàn)隨機(jī)的起伏,這會對衍射情形帶來什么影響?我們把這個隨機(jī)的粗糙面疊加在光柵面上來模擬,引入這個糙面時可以通過特征尺寸和調(diào)制深度來表達(dá)。特征尺寸與橫向的光柵周期相對應(yīng),表達(dá)起伏快慢,特征尺寸越小,起伏越劇烈,越大,則越平緩。而調(diào)制深度則與縱向的光柵調(diào)制深度對應(yīng),表達(dá)起伏的幅度。并使用parameter run來考察衍射效率隨特征尺寸和調(diào)制深度的變化情況。在特征尺寸變化時,會導(dǎo)致衍射級次的變化,在某個特征尺寸時,零級能量會降到最低,但仍然是一個較大的數(shù)值。然而衍射情形隨調(diào)制深度的變化則很靈敏,在調(diào)制深度為0時,與理想的正弦光柵衍射情況接近,能量主要分布在零級和±1級上,高階衍射級次能量很小。隨著調(diào)制深度的增加,零級能量會被衍射至高級次,從而零級能量降低,±1級則能量增加,更高級次能量也相應(yīng)增加。