大尺寸元件的電場分布基本是均勻的，考慮
衍射效應時也比較容易計算出光場（如電場Ex）分布。對于一般
光學系統(tǒng)我們通常只關心我們接收面上的場分布。然而對于亞
波長結構光柵，內(nèi)部場分布則相對復雜，并且Ex和Ey的場分布也不再是簡單的一致，而是對于特定
偏振的入射光，光柵內(nèi)部的Ex和Ey則會有各自的特性。這也正是亞波長光柵結構需要使用的矢量衍射效應分析所帶來的結果。并且不同方向的電場分布對于偏振特性的分析具有重要的參考意義。因而亞波長結構光柵中，內(nèi)部場的分析就比較重要。
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