大尺寸元件的電場分布基本是均勻的，考慮衍射效應(yīng)時也比較容易計算出光場（如電場Ex）分布。對于一般光學(xué)系統(tǒng)我們通常只關(guān)心我們接收面上的場分布。然而對于亞波長結(jié)構(gòu)光柵，內(nèi)部場分布則相對復(fù)雜，并且Ex和Ey的場分布也不再是簡單的一致，而是對于特定偏振的入射光，光柵內(nèi)部的Ex和Ey則會有各自的特性。這也正是亞波長光柵結(jié)構(gòu)需要使用的矢量衍射效應(yīng)分析所帶來的結(jié)果。并且不同方向的電場分布對于偏振特性的分析具有重要的參考意義。因而亞波長結(jié)構(gòu)光柵中，內(nèi)部場的分析就比較重要。 '_91 (~P
在VIrtualLab中，光柵工具箱中不僅提供了近場分析，光柵效率分析，偏振分析等引擎，還提供了光柵內(nèi)部場分析引擎。從而對于構(gòu)建好的光柵結(jié)構(gòu)，可以方便計算并觀察襯底，棧結(jié)構(gòu)，一個周期或者多個周期或者整個光柵元件的內(nèi)部場分布。 F$YT4414
