前邊已經(jīng)介紹過一些diffuser，splitter和shaper的設(shè)計方法，在元件設(shè)計好并加工的時候會出現(xiàn)加工公差，因此如何模擬實際的二元光學元件（DOE），在本例中給出了模擬方法。 5^Ps(8VbS
VirtualLab中有一種界面叫做組合界面（combined interface），可以將兩種（或多種）界面的輪廓數(shù)值疊加，即平面上每個坐標（x,y）對應(yīng)的高度值H1(x,y)描述面1，H2(x,y)描述面2，則H1(x,y)+H2(x,y)即為新組合界面的輪廓H(x,y)。 .iZo/_
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因此H1(x,y)作為初始界面（如本例中的設(shè)計好的非球面），H2(x,y)作為加工公差。其中加工公差的數(shù)據(jù)導(dǎo)入需要注意導(dǎo)入過程中的采樣間距及單位（在導(dǎo)入界面中需選擇length）。 "U* 6?]f
通過衍射評價函數(shù)這個探測器可以探測導(dǎo)入公差前后的一致性誤差，信噪比，窗口效率及轉(zhuǎn)換效率，加工公差導(dǎo)入之后，后兩個參數(shù)變化不大，但是一致性誤差變化非常大，信噪比也幾乎減小一倍。 5?-@}PL!Y
