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[求助]鍍膜厚度監(jiān)控 [復(fù)制鏈接]

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只看樓主倒序閱讀樓主發(fā)表于: 2014-03-13

在鍍半導(dǎo)體激光器巴條和單管時(shí)，每次鍍到TI3O5時(shí)，鍍膜速率就會(huì)忽高忽低，監(jiān)測用晶振的壽命也會(huì)一會(huì)多一會(huì)少（比如一會(huì)98.55%過一會(huì)又會(huì)變成98.56%）。鍍其他材料時(shí)都很正常（AL2O3，SIO2），已經(jīng)把很多可能都排除了（換晶振，改變溫度等）。現(xiàn)在只是在轉(zhuǎn)盤轉(zhuǎn)速低的情況下正常，轉(zhuǎn)速高了就不正常了。。。。請教各位前輩，這可能是什么原因啊