MEMS技術被認為是一項革命性技術，給光通信領域的應用帶來了一系列前所未有的MEMS研究熱潮．這些研究被稱為MOEMS〔微
光學電子機械
系統(tǒng)〕。人們對MEMS光開關研究始于20世紀90年代中期．雖然起步較晚，但發(fā)展較快，而且研究單位和研究者眾多．成為一種最流行的光開關制作技術．貝爾實驗室的“跌撓板”式光開關，被稱為世界上第一個有實用價值的MEMS光開關；美國的OMM公司的“Cros-GuaN”光開關號稱世界第一個MEMS光開關，該公司的小陣列(4×4和8×8)光開關產(chǎn)品已進入實用階段，大于32×32陣列的光開關也在開發(fā)之中；另外。美國的Onix公司也制作了基于微鏡技術的光開關，其中微鏡技術是該公司的
專利技術．在MEMS光開關的制作中，這些國外的研究單位和公司大多采用了MEMS平面工藝。
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