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只看樓主倒序閱讀樓主發(fā)表于: 2013-03-28

非接觸式鏡面定位儀目前已廣泛應(yīng)用于光學(xué)裝配中，具有精度高，不損傷樣品的特點，儀器簡介如下：

工作原理：
非接觸式鏡面定位儀的光學(xué)原理，為采用了短相干光源的邁克爾遜干涉儀，并且參考鏡位置可以精確移動，當(dāng)干涉儀的測量臂與參考臂光程相等時，才能夠發(fā)生干涉。這樣通過監(jiān)控參考鏡的移動，就可以測量被測鏡的位置。原理圖如下：


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