非接觸式鏡面定位儀目前已廣泛應(yīng)用于
光學(xué)裝配中，具有精度高，不損傷樣品的特點(diǎn)，儀器簡(jiǎn)介如下：
|=~m RqG T%Cj#J &L 工作
原理：
U7g,@/Qx 非接觸式鏡面定位儀的光學(xué)原理，為采用了短相干
光源的邁克爾遜干涉儀，并且參考鏡位置可以精確移動(dòng)，當(dāng)干涉儀的測(cè)量臂與參考臂光程相等時(shí)，才能夠發(fā)生干涉。這樣通過監(jiān)控參考鏡的移動(dòng)，就可以測(cè)量被測(cè)鏡的位置。 原理圖如下：
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