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>c~9wv hPNQGVv 表面特征是控制工業(yè)產(chǎn)品表面質(zhì)量的主要內(nèi)容,它是實(shí)際表面上某些典型偏差的綜合。超精密加球面質(zhì)量,主要包括粗糙度、波紋度和面形精度,三者是根據(jù)表面測(cè)量的空間尺度和頻率不同來劃分的。一個(gè)復(fù)雜的表面輪廓可分為3類空間頻率成分:表面的低頻分量(面形)、高頻分量(表面粗糙度)、介于此二者之間的中頻分量(波紋度)。
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因?yàn)榱慵谋砻尜|(zhì)量是影響其使用性能的最重要因素。對(duì)于光學(xué)表面而言,面形誤差反映光線經(jīng)表面后走向的準(zhǔn)確性,波紋度和粗糙度則與表面散射有關(guān),特別地,波紋度與小角散射有關(guān)。對(duì)于成像系統(tǒng),小角散射會(huì)產(chǎn)生像散,使像面模糊,降低系統(tǒng)的分辨率;對(duì)于反射系統(tǒng),波紋度反映了表面的不均勻程度,它會(huì)造成鏡面反射及散射不均,這在某些應(yīng)用中是至關(guān)重要的。
50O7= 在超精密車削中,很多因素都對(duì)表面加工質(zhì)量有影響。如刀具的幾何參數(shù)、主軸回轉(zhuǎn)精度、溜板運(yùn)動(dòng)精
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