干涉儀是以
激光波長為已知長度、利用邁克耳遜干涉
系統(tǒng)測量位移的通用長度測量工具。激光干涉儀有單頻的和雙頻的兩種。單頻的是在20世紀(jì)60年代中期出現(xiàn)的，最初用于檢定基準(zhǔn)線紋尺，后又用于在計量室中精密測長。雙頻激光干涉儀是1970年出現(xiàn)的，它適宜在車間中使用。激光干涉儀在極接近
標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)（溫度為20℃、大氣壓力為101325帕、相對濕度59％、CO2 含量0.03％）下的測量精確度很高，可達(dá)1×10。
(s$u_aq 77 單頻激光干涉儀為單頻激光干涉儀的工作
原理。從
激光器發(fā)出的
光束，經(jīng)擴(kuò)束準(zhǔn)直后由分光鏡分為兩路，并分別從固定反射鏡和可動反射鏡反射回來會合在分光鏡上而產(chǎn)生干涉條紋。當(dāng)可動反射鏡移動時，干涉條紋的光強(qiáng)變化由接受器中的
光電轉(zhuǎn)換元件和
電子線路等轉(zhuǎn)換為電脈沖信號，經(jīng)整形、放大后輸入可逆計數(shù)器計算出總脈沖數(shù)，再由電子計算機(jī)按計算式［356-11］
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