Zemax軟件在取樣光柵對設計中的應用摘要：光束取樣光柵 ( BSG) 是一種重要的用于光束取樣診斷的衍射光學元件。以2 塊取樣光柵代替單塊光柵作為初始光學結構, 運用Zemax 光學設計軟件采用分步優(yōu)化的方法設計了具有消像差功能的光柵對結構, 此方法比采用Matlab 語言編程計算的方法消像差更快捷、更靈活, 同時可以驗證程序計算結果的正確性。設計結果顯示: 再現的會聚光經2 塊光柵衍射后在像平面上點列圖中的均方根半徑僅為0. 506 m, 單塊取樣光柵的均方根半徑則為7. 284 m, 說明2 塊光柵能夠做到像差互相矯正, 其像質明顯好于單塊取樣光柵。另外, 設計出的雙光柵光學系統(tǒng), 可進行遠場光斑質量檢測, 為激光束性能的在線診斷提供了行之有效的技術支持。 YC+ZVp"v
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關鍵詞: 取樣光柵; 光學設計; 分步優(yōu)化; 消像差
