掃描電磁顯微鏡ky-2800b技術(shù)性能指標(biāo):
'Mqa2o'M 分辨率:4.5nm(鎢絲陰極)
Q^Z}Y~. 放大倍數(shù):15倍-250,000倍
qnRzs 電子光學(xué)系統(tǒng) :_zKUv] 電子槍:發(fā)叉式鎢絲陰極
M.Ik%nN#K0 加速電壓:0-30kV
,]"u!,yHb 透鏡系統(tǒng):電磁透鏡
T480w6-@ 物鏡光闌:三個(gè)光闌可在真空外選擇調(diào)節(jié)
c!T{|'? 樣品室
9F4|T7? 六個(gè)接口,可接WDS、EDS、BSE等多種附件和探測(cè)器
JwczE9~o 樣品臺(tái)
_4]dPk#^ 標(biāo)準(zhǔn)樣品臺(tái)位移:X=50mm,Y=50mm,Z=25mm
YTh4&wm T=-5°~+90°,R=360°
dfcG'+RU} 大樣品臺(tái)位稱:X=80mm,Y=50mm,Z=30 mm
:wAB"TCt0 T=0°~+90°,R=360°
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