[原創(chuàng)]均勻性的修正 [復(fù)制鏈接]

路過，看看

均與性調(diào)到5nm以下，如何？

調(diào)整均勻性擋板，上下，形狀都會(huì)影響均勻性，理論計(jì)算就不會(huì)了

通過調(diào)節(jié)擋板和掛環(huán) *@ \LS!N

通過補(bǔ)正板的適當(dāng)調(diào)整，可以解決。具體要看曲線的形狀，具體分析。

通過調(diào)節(jié)擋板和掛環(huán)

調(diào)節(jié)補(bǔ)償擋板

1,先鍍一鍋無修正板的,測(cè)試片要記好順序,測(cè)出數(shù)據(jù)( 用一種膜料試) "SDsISWd  
2,再鍍一鍋有修正板的,修正板長(zhǎng)方最好是長(zhǎng)方形,測(cè)試片要記好順序,測(cè)出數(shù)據(jù),  *X0K2|  
  (順序出錯(cuò)很重要,不能出錯(cuò)), )/ n29]  
3,根據(jù)1,2的數(shù)據(jù),算出各個(gè)位的修正因子 +-",2d+g  
4,再根據(jù)2的數(shù)據(jù)和各個(gè)位的修正因子,修改修正板,用改好的板再鍍,測(cè)出數(shù)據(jù) Je@p5(f  
5,看數(shù)據(jù)的一致性好不好,好了就OK,不好,再根據(jù)4的數(shù)據(jù)和各個(gè)位的修正因子,修改修正板,用改好的板再鍍,測(cè)出數(shù)據(jù), 0L 7@2|a0  
6,重復(fù)直到OK

這是一個(gè)朋友教我的, ]Oig..LJ  
不清楚的加我QQ:398616130

找到修正板和對(duì)應(yīng)位的方法: $Cut  
1,拉線法,坩堝中心到對(duì)應(yīng)位中心拉線,對(duì)應(yīng)的修正板位置就是對(duì)應(yīng)位遮擋線,用此法找出每一個(gè)位在修正板遮擋線的位置,對(duì)應(yīng)位置的寬度就是計(jì)算的依據(jù) /0X0#+kn  
2,光線法,坩堝中心放一個(gè)小燈泡,對(duì)應(yīng)位中心被修正板遮擋的位置就是對(duì)應(yīng)位遮擋線,找出每一個(gè)位