[原創(chuàng)]關(guān)于負勁度震動隔離器的使用 [復(fù)制鏈接]

將近40年以來，氣動振動隔離器一直是穩(wěn)定大多數(shù)工業(yè)及學(xué)術(shù)上重要的微型工程使用儀器的支柱。在微電子加工、工業(yè)激光/光學(xué)系統(tǒng)及生物研究領(lǐng)域中，對更加精密的振動隔離的需求每日劇增。這些所謂的"被動系統(tǒng)"風(fēng)動工作臺現(xiàn)在面臨著新型的負勁度振動隔離器的嚴峻挑戰(zhàn)。 y@?t[A#v  
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負勁度振動隔離在工業(yè)和實驗室環(huán)境中迅速得以流行完全是因為其能夠有效地在各種各樣富有挑戰(zhàn)性的環(huán)境中進行振動隔離的能力。一只隔離器用于解決一個問題，而且問題的嚴重性確定了需要何種解決方案。 t@1bu$y  
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風(fēng)動工作臺自20世紀60年代以來就一直被用于隔離。基本上是一罐罐的空氣，現(xiàn)在他們依然是所使用的最流行的隔離器。但是，共振頻率為2至2.5Hz的風(fēng)動工作臺在典型情況下只能處理低到8至10Hz的振動，對于今日之納米設(shè)備最適合的表現(xiàn)來說，它還是不夠低。同樣，在空氣隔離器能夠處理的頻率范圍內(nèi)也需要更大的隔離功效。
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需要更好的隔離作用 O5?Gv??@  
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盡管數(shù)年以前風(fēng)動系統(tǒng)的表現(xiàn)就已經(jīng)夠用了，但是現(xiàn)在還是需要更好的隔離作用。對于清理掃描探針顯微鏡和干涉計來說，風(fēng)動工作臺這個解決方案就不夠用了。 Im*