將近40年以來，氣動(dòng)振動(dòng)隔離器一直是穩(wěn)定大多數(shù)工業(yè)及學(xué)術(shù)上重要的微型工程使用儀器的支柱。在微
電子加工、工業(yè)激光/光學(xué)
系統(tǒng)及生物研究領(lǐng)域中，對更加精密的振動(dòng)隔離的需求每日劇增。這些所謂的"被動(dòng)系統(tǒng)"風(fēng)動(dòng)工作臺現(xiàn)在面臨著新型的負(fù)勁度振動(dòng)隔離器的嚴(yán)峻挑戰(zhàn)。
`{g8A P3 8ALvP}H 負(fù)勁度振動(dòng)隔離在工業(yè)和實(shí)驗(yàn)室環(huán)境中迅速得以流行完全是因?yàn)槠淠軌蛴行У卦诟鞣N各樣富有挑戰(zhàn)性的環(huán)境中進(jìn)行振動(dòng)隔離的能力。一只隔離器用于解決一個(gè)問題，而且問題的嚴(yán)重性確定了需要何種解決方案。
>3H/~ Y %0]vW;Q5 風(fēng)動(dòng)工作臺自20世紀(jì)60年代以來就一直被用于隔離�；旧鲜且还薰薜目諝猓F(xiàn)在他們依然是所使用的最流行的隔離器。但是，共振頻率為2至2.5Hz的風(fēng)動(dòng)工作臺在典型情況下只能處理低到8至10Hz的振動(dòng)，對于今日之
納米設(shè)備最適合的表現(xiàn)來說，它還是不夠低。同樣，在空氣隔離器能夠處理的頻率范圍內(nèi)也需要更大的隔離功效。
"ei*iUBN: ;!<WL@C~ 需要更好的隔離作用
$9znRTFE j L[zg2y 盡管數(shù)年以前風(fēng)動(dòng)系統(tǒng)的表現(xiàn)就已經(jīng)夠用了，但是現(xiàn)在還是需要更好的隔離作用。對于清理掃描探針
顯微鏡和干涉計(jì)來說，風(fēng)動(dòng)工作臺這個(gè)解決方案就不夠用了。
2[&3$-] 3F,$} r# 由于其隔離效率極高，負(fù)勁度振動(dòng)隔離系統(tǒng)能夠讓諸如掃描探針顯微鏡、微型硬度測試儀、仿形銑床以及掃描電子顯微鏡這類的振動(dòng)敏感儀器在性能最好的風(fēng)動(dòng)工作臺及其他啟動(dòng)隔離系統(tǒng)都不能起作用的嚴(yán)酷的條件和嚴(yán)峻的振動(dòng)環(huán)境中運(yùn)行。
sQ65QJtt0A |H67ny&K^& 完整的機(jī)械系統(tǒng)
%Z-^Bu8;y !F0MLvdX7^ 負(fù)勁度振動(dòng)隔離器使用了一種獨(dú)特的、完全機(jī)械的低頻率振動(dòng)隔離的概念。由一只支持重量負(fù)荷的硬彈簧加上負(fù)勁度機(jī)制來提供垂直運(yùn)動(dòng)的隔離。把凈垂直勁度弄得很低，不會影響到彈簧的靜態(tài)負(fù)荷支撐的性能。與垂直運(yùn)動(dòng)隔離器呈系列連接梁-柱具有水平運(yùn)動(dòng)隔離的功能。梁-柱的"梁-柱"勁度是通過"梁-柱"效應(yīng)來減少的。（梁-柱的作用就是與負(fù)勁度機(jī)制綜合起來的彈簧。）其結(jié)果是能夠處理極低的垂直和水平自然頻率以及極高的內(nèi)部
結(jié)構(gòu)頻率的緊湊型被動(dòng)隔離器。在2Hz的情況下，此隔離器（調(diào)整到0.5Hz）能夠達(dá)到93％的隔離效果；在5Hz的情況下，達(dá)到99％；而在10Hz的情況下，達(dá)到99.7％。有10個(gè)關(guān)鍵點(diǎn)能夠顯示其好處：
~L!*p0dS^ } d / 5_X 低赫茲微擾所有隔離器均能夠增強(qiáng)其共振頻率，然后開始進(jìn)行隔離。所以，在有風(fēng)動(dòng)工作臺的情況下，所有在此范圍內(nèi)不能夠被減輕的振動(dòng)均能夠被放大。這種低周波微擾會徑直來到儀器這里。在0.5Hz共振情況下的負(fù)勁度隔離器在此頻率情況下，幾乎沒有能量出現(xiàn)。在0.5Hz時(shí)，很難發(fā)現(xiàn)大的振動(dòng)。
GS
