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分子激光器具有獨特的材料加工特性，這一特性使得其應用范圍日益擴大。
A`r9"([-A l=oVC6C 與其他氣體
激光器不同，準分子激光器在應用方面的數(shù)目和種類不斷的增多。這是因為，準分子激光器所獨有的特性和性能，這使得準分子激光器能滿足很多的材料加工的需要。其獨有的特性也使得它很好的被用于新興的技術(shù)中。目前，主要有兩個方面應用：1) 材料的切除 2)
光學材料的加工，尤其是打孔，劃線，微加工，和其他方面的加工，在這些加工中，其特征尺寸縮小且超出了機械加工的范圍。準分子材料切除的本質(zhì)是光燒蝕，它幾乎沒有熱影響區(qū)域，而且使用準分子時，切口干凈而且輪廓分明。這些特點使得它十分適合進行亞微米范圍的微加工。此外，短
波長的紫外(UV)準分子輻射很容易被許多材料所吸收，使得它不論對硬質(zhì)材料(如,硅和陶瓷)還是對軟質(zhì)聚合物都能進行有效加工。紫外準分子激光波長的范圍較廣，這意味著，基本上對于任何需要加工的材料都能夠找到合適的波長。大型的多模平頂準分子光束讓大面積圖案制作所需的光束整形和掩膜技術(shù)成為可能，使得加工效率更高，且能得到復雜的三維圖案。
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