隨著納米技術的進步，產(chǎn)品不斷向微型化方向發(fā)展，特征尺寸為微米級的微機電
系統(tǒng)越來越受到人們的高度重視。
O` cu_ tLm867`c7 微機電系統(tǒng)（MEMS， Micro-Electro-Machanical Systems）包括微型機構、微型
傳感器、微型執(zhí)行器和相應的處理
電路等幾部分，MEMS已相繼應用于精密機械、光電通訊、影像傳輸、生化醫(yī)療和信息儲存等領域，如微
齒輪、插頭式
光纖連接器、醫(yī)學用微量泵、
導光板、微
透鏡、內(nèi)窺鏡零件、微流控
芯片、細胞培養(yǎng)用微型容器，以及旋轉傳感器中的衍射光柵等都需要微型
模具。國際MEMS市場近年來獲得迅速發(fā)展，中國的MEMS市場增速也將加快，據(jù)有關
資料預測，至2011年我國MEMS的增速有望達到29.2%。
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