高
功率垂直
腔面發(fā)射
激光器(VCSEL)技術,為光泵浦、工業(yè)和醫(yī)療等應用提供了可靠的高溫工作特性。
bV(Y`g 9i'jjN 高功率邊發(fā)射
半導體激光器廣泛應用于工業(yè)、醫(yī)療以及國防等多個領域,也是固體激光器泵浦和
光纖激光器泵浦的普遍選擇。然而眾所周知,在高功率密度下,邊發(fā)射半導體激光器的發(fā)射腔面容易產生
光學災變性損壞(COD),這是導致高功率邊發(fā)射半導體激光器性能下降的一個致命因素。[1]相比之下,垂直腔面發(fā)射激光器(VCSEL)中則沒有COD,因為其增益區(qū)是嵌入到外延結構中的,因此也不會暴露在外界環(huán)境中(見圖1)。此外,在邊發(fā)射半導體激光器中,與邊發(fā)射結相連的光波導的面積相對較小,從而導致其比VCSEL具有更高的功率密度。通常,一個典型的邊發(fā)射激光器的故障率(FIT率定義為每10億個器件工作小時中所出現的故障數)為500或更高。[2]相比之下,VCSEL的FIT率為10或更小。[3][4]也就是說,一個使用VCSEL作泵浦源的系統(tǒng),其使用壽命至少要比用邊發(fā)射激光器作泵浦源長50倍。
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