利用國(guó)外領(lǐng)先公司taylor-hobson的光學(xué)輪廓檢測(cè)儀器,依據(jù)相關(guān)算法,編寫(xiě)相關(guān)軟件,對(duì)離軸非球面進(jìn)行輪廓檢測(cè),該方法不僅對(duì)于可以利用干涉儀加補(bǔ)償器檢測(cè)的凹離軸非球面進(jìn)行檢測(cè),對(duì)于難于用干涉儀加補(bǔ)償器檢測(cè)的凸離軸非球面,同樣適用。該方法已經(jīng)在同軸非球面的輪廓檢測(cè)上得到驗(yàn)證,Rt,Ra值與taylor-hobson自帶的分析軟件分析結(jié)果一致。檢測(cè)的離軸非球面已應(yīng)用于實(shí)際的產(chǎn)品。QQ:1552469197 t)`+d=P C"{k7yT